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項目背景：該超純水處理系統(tǒng)應用于百級無塵室內中，該項目對超純水處理要求高，原水水質為企業(yè)自來水要求，出水要求要達到百級芯片清洗水。進水經過預處理工藝，要進入二級反滲透膜工藝，對水質進行除鹽過濾。同時，要進行EDI深度除鹽處理設計，在末端再經過TOC脫除器脫除有機物以及拋光混床進一步精處理，最終經過超濾膜過濾后，出水水質就可以滿足用水點的水質要求。
項目工藝：
水質要求：超純水的水質指標要求：電導率≥18兆歐、TOC＜3ppb、particle（≥0.1um）＜3pcs/mL
現場照片：
項目實施：2020年5月進場，7月份完成建設并投入運行。
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