酸性廢氣主要成分有鹽酸、醋酸、硝酸、硫酸、磷酸等，電子企業(yè)酸性廢氣主要成分鹽酸和硝酸兩大類。酸性廢氣達標治理主要工藝是兩級堿噴淋技術(shù)，在去除酸性物質(zhì)上可以達到95%以上。酸堿中和方法處理廢氣凈化程度高，在經(jīng)濟劃算，穩(wěn)定性也比較強。

　　電子元件的超聲清洗、前清洗、腐蝕、蝕刻、淀積、去污、背面蒸發(fā)等生產(chǎn)工藝中，因原輔材料的使用容易產(chǎn)生酸性廢氣。某電子企業(yè)的主要產(chǎn)品為鋁電解電容器和電源基板，由于硅片清洗、氧化膜腐蝕、溝槽刻蝕和化學鍍鎳等生產(chǎn)過程中需要使用大量鹽酸，因此該企業(yè)產(chǎn)生了大量有組織酸性廢氣，主要成分為氯化氫，該酸性廢氣具有腐蝕、有毒有害特性，對周邊環(huán)境和人身安全可能會產(chǎn)生嚴重影響，合理收集和有效凈化處理酸性廢氣已成為該企業(yè)實現(xiàn)清潔生產(chǎn)的關(guān)鍵。

　　1廢氣特性和處理要求

　　1.1廢氣處理要求

　　該企業(yè)工藝廢氣中的氯化氫執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）二級標準，氯化氫最高允許排放濃度30mg/m3，最高允許排放速率0.43kg/h，排氣筒高度20m。

　　1.2設計工藝流程

　　為保證企業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含有氯化氫酸性廢氣的污染物去除效率達到95%的穩(wěn)定達標排放目標，并考慮經(jīng)濟性，該企業(yè)采取“兩級堿噴淋塔”處理工藝對酸性廢氣進行處理。

　　含有氯化氫的酸性廢氣由風管引入噴淋塔，在風機的動力作用下，迅速充滿進氣段空間，在噴淋段中吸收液從均布的噴嘴高速噴出，酸性廢氣與吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應，廢氣經(jīng)過凈化后，再經(jīng)除霧板脫水除霧，凈化后的氣體通過風機排向高空。吸收液吸收完酸性氣體成分后落入塔底，沿塔底管道排出，進入污水處理系統(tǒng)。此外，可通過添加界面活性劑進一步提升酸性廢氣的去除效率。該處理工藝不斷消耗吸收液，需持續(xù)地將調(diào)配好的吸收液注入系統(tǒng)中，用于補充吸收液的消耗。

　　2設備參數(shù)及工藝特點

　　根據(jù)企業(yè)廢氣特點、工藝分析以及同類廢氣噴淋塔實際運行效果，采用兩級堿液噴淋方式吸收處理酸性廢氣，酸性廢氣通過設備配套管道從塔體下方進氣口沿切向進入噴淋塔，在風機的動力作用下，迅速充滿進氣段空間，在噴淋段中吸收液從均布的噴嘴高速噴出，形成無數(shù)細小霧滴與氣體充分混合、接觸，繼而被水吸收。噴淋液采用人工配料，堿液保證pH值在10左右，通過控制空塔流速和滯貯時間保證廢氣吸收過程的穩(wěn)定。堿噴淋塔運行風量為30000m3/h，空塔氣速為1.35m/s，液氣比為3L水/m3廢氣，噴淋密度為9.7m3/（m2﹒h），停留時間為4.8s。該工藝相對較為簡單，管理、操作及維修相當方便簡潔，不會對車間的生產(chǎn)造成任何影響，由于壓降較低，操作彈性大，酸堿反應速度快、進行徹底，且具有很好的除霧性能。

　　3工程運行分析

　　3.1運行效果

　　兩級堿噴淋塔投入運行后，測定進、出氣口酸性廢氣中氯化氫的產(chǎn)生濃度、產(chǎn)生速率、排放濃度和排放速率指標，檢測結(jié)果見表1。由表1可知，進氣口氯化氫的產(chǎn)生濃度為5.88mg/m3，產(chǎn)生速率為0.50kg/h;經(jīng)“兩級堿噴淋塔”處理后，氯化氫的排放濃度為0.29mg/m3，排放速率為0.03kg/h，可穩(wěn)定達到《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）二級標準，處理效率高達95.1%。結(jié)果表明，兩級堿噴淋塔對含有氯化氫的酸性廢氣去除效果顯著，可實現(xiàn)廢氣長期穩(wěn)定達標排放。

　　3.2經(jīng)濟效益分析

　　該工程酸性廢氣處理系統(tǒng)主要投資為設備的一次性投資、設備運行電費、耗材維護費用、藥品費用。設備運行電費約為110萬元，耗材維護費用為12萬元，藥品費用為1.6萬元，則年總運行費用為123.6萬元，在企業(yè)可以接受的范圍內(nèi)，該措施經(jīng)濟上可行。

　　4結(jié)論

　　電子企業(yè)的酸性廢氣具有強腐蝕性，對大氣破壞程度較深。而兩級堿性噴淋技術(shù)可以實現(xiàn)酸性廢氣達標處理。酸堿中和產(chǎn)生的物質(zhì)不會造成二次污染，在工藝中也較經(jīng)濟可行。目前，工業(yè)廢氣包括VOCs、有機廢氣、酸性廢氣等，想要實現(xiàn)廢氣零排放，要先了解廢氣的種類，并制定經(jīng)濟可行的工藝。

　　針對排放的腐蝕性強的氯化氫酸性廢氣，該電子企業(yè)采用“兩級堿噴淋塔”處理系統(tǒng)對其進行處理。通過對比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對氯化氫酸性廢氣的去除效率可達95%以上。工程實例證明，對電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用“兩級堿噴淋塔”凈化工藝，以達到高效凈化、經(jīng)濟可行、穩(wěn)定性高的效果。